ASML Shutter
R0086E002-5
半导体黄光制程中,最重要的就是光罩透过光源将所需电路曝光于晶圆上,Shutter即是负责控制光源的遮蔽与打开,在制程中需要快速的开关,所以Shutter必须重量轻且表面平整,避免漏光造成曝光异常。申玥的Shutter即是以耐高温铝材制造,并将受光面抛光处理,避免光聚热造成热变形,增加制程稳定性及Shutter的使用寿命。
细节Wafer End Effector
申玥制造的Wafer End Effector,是用于半导体制造过程中处理晶圆的手臂,能够准确处理晶圆的插取、转移、翻转、放置和堆叠等关键操作。我们可以使用耐磨、耐腐蚀和高温材料制成,确保在极端制程环境下长时间运作而不失效。 我们除了可以少量制作之外,也可以依照客户需求,提供适合客户环境的客制化尺寸解决方案,也欢迎填写以下表单与我们联系。
细节塑胶金属磁盘/ 磁性环
藉由磁力悬浮支撑主轴或活塞,除减少磨耗、粉尘、振动、及噪音等情形,并减少酸气外漏,造成其他物品被腐蚀,磁力悬浮达成低转速与长时间的运转需求。 建议常温使用PVC材质,高温环境使用SUS材质。
细节TFT-LCD弹性滚轮
弹性滚轮为申玥科技公司专利产品(专利证号:M415896 / M595110),基于TFT-LCD玻璃基板的厚度规格多样,工程师于制程中更换不同厚度的玻璃基板,需花费许多时间调整上下传送滚轮之间隙,申玥将上压滚轮改为弹性滚轮上机后,不需调整上下滚轮间隙(holder...
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