產品特色：

• 客製化加工能力
  依照客戶圖面或樣品逆向製作，可提供多樣 Vespel 等級（SP-1 / SP-21 / SP-22 / SP-211 / CR 系列），符合半導體製程精度與潔淨需求。
  
  
• 高溫耐受與耐腐蝕性
  適用於真空腔體、熱製程與電漿製程環境，可承受長時間高溫、酸鹼與化學氣體，確保長期穩定運作。
  
  
• 低粒子、潔淨製程適用
  精選半導體等級 Vespel 材料，並提供精密加工、細緻倒角與潔淨包裝，滿足無塵室與高潔淨製程要求，降低污染風險。

應用範圍：

• 光罩/光學治具：Photomask Pick、支撐座
• 晶圓搬運：Wafer Pin、Pad、定位件
• 真空/熱製程：隔熱墊片、治具 Spacer
• 蝕刻 / 薄膜 / CVD / PECVD / Etch 工程零件
• CMP 製程：Retaining Ring / 支撐治具
• 半導體及面板產業高純度耐化學應用

選擇 SHEN-YUEH 的 Vespel 半導體應用零件，透過專業加工與客製方案，協助您提升製程可靠度、延長耗材壽命並縮短測試時間，讓生產流程更精準、更高效。