金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣
半導體製程中,晶圓在高溫製程中,需要金屬晶舟當載具,申玥生產的金屬晶舟材質為鋁合金(AL),應用鋁合金的重量輕、鋼性佳不易變形、耐高溫等特性,完成後再做金屬表面的特殊處理,不易產生髒汙及沾黏粉塵(Particle)。金屬晶舟有設計防滑裝置,晶圓製放於金屬晶舟內,關上定位桿即可防止晶圓在傳送或製程中滑落,定位桿上會包覆耐高溫塑膠,避免碰撞造成晶圓異常。
細節鐵氟龍晶舟 (PTFE Wafer Boat)
半導體製程中,晶圓在酸鹼製程中,以鐵氟龍晶舟當載具,申玥生產的鐵氟龍晶舟,採用特殊的功能設計,在晶圓放製於晶舟後,不會左右晃動,離開酸槽後可以將酸的殘留量降至最低。可依客戶製程需求設計各尺寸鐵氟龍晶舟載具。
細節