不鏽鋼加工
SUS304 / SUS316 / SUS316L / SUS410 / SUS420 / SUS440 / SUS630
申玥科技製造的不銹鋼產品,擁有良好的抗化性,耐酸鹼、耐腐蝕,廣泛應用於光電的酸槽設備零件,而不鏽鋼除了耐腐蝕,亦可焊接,及可作各式表面處理,常用於半導體高度腐蝕性氣體與液體之製程中,為真空零件經常使用之材料。另外不鏽鋼中的SUS316/SUS316L因添加了鉬元素使其耐腐蝕性特佳,故常用於化學生技行業的製程中,為食品級製程中常用之材質。一般加工精度可達0.01mm(有特殊需求可另依圖面討論)。 不鏽鋼俗稱白鐵,通常含有鎳鉻鉬鎢等合金元素才能稱為不鏽鋼,表面有一層皮膜使其不易氧化,而不鏽鋼大致分為200系列、300系列、400系列、500系列與600系列。半導體、光電業常使用的不銹鋼有SUS303、SUS304、SUS316、SUS316L、SUS430、SUS440B、SUS630,依其使用環境不同,可使用不同的材質。
細節金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣
半導體製程中,晶圓在高溫製程中,需要金屬晶舟當載具,申玥生產的金屬晶舟材質為鋁合金(AL),應用鋁合金的重量輕、鋼性佳不易變形、耐高溫等特性,完成後再做金屬表面的特殊處理,不易產生髒汙及沾黏粉塵(Particle)。金屬晶舟有設計防滑裝置,晶圓製放於金屬晶舟內,關上定位桿即可防止晶圓在傳送或製程中滑落,定位桿上會包覆耐高溫塑膠,避免碰撞造成晶圓異常。
細節鐵氟龍晶舟 (PTFE Wafer Boat)
半導體製程中,晶圓在酸鹼製程中,以鐵氟龍晶舟當載具,申玥生產的鐵氟龍晶舟,採用特殊的功能設計,在晶圓放製於晶舟後,不會左右晃動,離開酸槽後可以將酸的殘留量降至最低。可依客戶製程需求設計各尺寸鐵氟龍晶舟載具。
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