Vespel-Ring-Einschluss
Isolatorring, Schutzring
Wir bieten professionelle Fertigung und maßgeschneiderte Bearbeitungsdienste für Elektrodenisolationsringe (Isolatorring / Schutzring) an, die für Halbleiterprozessgeräte wie Plasma-Ätzgeräte, CVD-Geräte und ALD-Geräte geeignet sind.
Jedes Produkt kann an verschiedene Kammerstrukturen und Prozessanforderungen angepasst werden. Mit hervorragender Hochtemperaturisolierung, Plasmaresistenz und chemischer Beständigkeit isolieren unsere Isolationsringe effektiv elektrische Felder, stabilisieren Prozesszonen und verlängern die Lebensdauer der Geräte.
Bitte füllen Sie das untenstehende Formular aus, um uns zu kontaktieren – wir werden umgehend mit einer Beratung und Unterstützung, die auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten ist, antworten.
Produktanwendungen
- Halbleiterprozesskammern (Plasmaätzen / CVD / ALD / Trockenätzen)
- Randringisolatoren für Wafer, RF-Elektroden-Schnittstellenisolatoren, Plasma-Schutzringe
- Verwendet für elektrische Feldisolierung, Plasmaeindämmung und Stabilisierung des Prozessbereichs in Vakuumkammern
- Kompatibel mit gängiger Ausrüstung: LAM Research, TEL, Applied Materials usw.
Produkteigenschaften
- Hochleistungsmaterialien: Hergestellt aus Vespel®, PBI und anderen fortschrittlichen technischen Kunststoffen, die hervorragende Isolierung, Hitzebeständigkeit, chemische Stabilität und dimensionsstabilität bieten.
- Verbesserte Prozessstabilität: Begrenzung des Plasmabereichs, Minimierung von Randwirkungen und Reduzierung des Risikos von Partikelkontamination.
- Schutz kritischer Komponenten: Reduzierung von Erosion und thermischer Belastung auf Kammern und Elektroden, Verlängerung der Lebensdauer der Komponenten.
- Flexible Fertigung: Unterstützung der Kleinserienproduktion, Zeichnungsdienste und Größenempfehlungen; kann an unterschiedliche Gerätebedürfnisse angepasst werden.
Produktspezifikationen
- Materialoptionen: Vespel® / PI (auf Anfrage angepasst)
- Leistung: Hitzebeständigkeit >300°C, geringe Ausgasung, dimensionsstabil, hervorragende Isolierung.
- Größenoptionen: 6", 8", 12" (maßgeschneiderte Größen verfügbar)
Kontaktieren Sie uns
Wenn Sie nach Vespel-Ring-Einschränkungen oder anderen Elektrodenisolierungslösungen suchen, füllen Sie bitte das untenstehende Formular aus oder kontaktieren Sie uns direkt.
Entwickelt für Halbleiterprozesse, wird der Vespel-Elektroden-Isolationsring in Plasma-Ätzsystemen verwendet, um elektrische Felder effektiv zu isolieren und die Prozessstabilität zu verbessern. | PEEK & PI Kunststoff CNC-Bearbeitung Hersteller | Shen-Yueh (SYT)
Seit 2006 in Taiwan ansässig, ist Shen-Yueh Technology Co., Ltd. ein Hersteller von CNC-Kunststoff- und Metallbearbeitung in der Metallverarbeitungsindustrie. Ihre Hauptversorgung mit CNC-Bearbeitungen umfasst Vespel-Ring-Einsätze, CNC-Kunststoffbearbeitung, Luftmesserproduktionen, PEEK-Kunststoffbearbeitung und -Fertigung, CNC-Metallbearbeitung, Polyimid (PI) Kunststoff-CNC-Bearbeitung und -Fräsen sowie Lager, die mit erweiterten Produktionskapazitäten, kurzen Lieferzeiten und besserem Kundenservice geliefert werden.
Shen-Yueh besteht aus Fachleuten für Halbleiterausrüstung und Maschinenbau, die mit dem CNC-Profitechnikerteam zusammenarbeiten, das über mehr als 10 Jahre Erfahrung verfügt. Der Produktionsprozess wird gemäß ISO und einer sauberen Fabrikumgebung durchgeführt, um ausgezeichnete professionelle Beratungen und Serviceleistungen zu bieten! Wir konzentrieren uns auf die CNC-Teileverarbeitung und die Erfahrung in der Ausrüstungsumstellung in den Bereichen Halbleiter- und Panelindustrie (seit 2006). Seit mehr als 10 Jahren lösen wir Probleme im Bereich Design, Entwicklung und Organisationsoptimierung und verlängern die Lebensdauer von Teilen. Dadurch reduzieren wir Kosten für viele Kunden und liefern schnell Fertigungsmuster, um die Entwicklungszeit für Kunden zu verkürzen.
'SHEN-YUEH (SYT)' bietet seit 13 Jahren hochwertige Fertigung von Ausrüstungsteilen für die Halbleiterfertigung, die Panel- und die umfassenden Industrien an. Mit fortschrittlicher Ingenieurtechnologie stellt 'SHEN-YUEH (SYT)' sicher, dass die Anforderungen jedes Kunden erfüllt werden.