베스펠 링 감금 | PEEK 및 PI 플라스틱 CNC 가공 제조업체 | Shen-Yueh (SYT)
우리는 플라즈마 에처, CVD 장비 및 ALD 장비와 같은 반도체 공정 장비에 적합한 전극 절연 링(절연 링 / 실드 링)에 대한 전문 제조 및 맞춤형 가공 서비스를 제공합니다.
각 제품은 다양한 챔버 구조와 공정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 우수한 고온 단열, 플라즈마 저항 및 화학적 내구성을 갖춘 우리의 단열 링은 전기장을 효과적으로 차단하고, 공정 영역을 안정화하며, 장비 수명을 연장합니다.
아래 양식을 작성하여 저희에게 연락해 주십시오. 귀하의 필요에 맞춘 상담 및 지원을 신속하게 제공하겠습니다.Shen-Yueh (SYT)는 2006년부터 대만에서 고품질 Vespel 링 격리, 반도체 공정을 위해 설계된 Vespel 전극 절연 링은 플라즈마 에처 시스템에서 전기장을 효과적으로 격리하고 공정 안정성을 향상시키는 데 사용됩니다. 제조업체입니다.
베스펠 링 감금
절연 링, 차폐 링
우리는 플라즈마 에처, CVD 장비 및 ALD 장비와 같은 반도체 공정 장비에 적합한 전극 절연 링(절연 링 / 실드 링)에 대한 전문 제조 및 맞춤형 가공 서비스를 제공합니다.
각 제품은 다양한 챔버 구조와 공정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 우수한 고온 단열, 플라즈마 저항 및 화학적 내구성을 갖춘 우리의 단열 링은 전기장을 효과적으로 차단하고, 공정 영역을 안정화하며, 장비 수명을 연장합니다.
아래 양식을 작성하여 저희에게 연락해 주십시오. 귀하의 필요에 맞춘 상담 및 지원을 신속하게 제공하겠습니다.
제품 응용 분야
- 반도체 공정 챔버 (플라즈마 에처 / CVD / ALD / 드라이 에치)
- 웨이퍼용 엣지 링 절연체, RF 전극 인터페이스 절연체, 플라즈마 쉴드 링
- 전기장 격리, 플라즈마 구속 및 진공 챔버 내부의 공정 영역 안정화에 사용됩니다.
- 주류 장비와 호환: LAM Research, TEL, Applied Materials 등.
제품 특징
- 고성능 재료: Vespel®, PBI 및 기타 고급 엔지니어링 플라스틱으로 제작되어 우수한 절연성, 내열성, 화학적 안정성 및 치수 안정성을 제공합니다.
- 개선된 공정 안정성: 플라즈마 영역을 효과적으로 제한하고, 가장자리 효과를 최소화하며, 입자 오염 위험을 줄입니다.
- 중요 부품 보호: 챔버와 전극의 침식을 줄이고 열 부하를 감소시켜 부품 수명을 연장합니다.
- 유연한 제조: 소량 생산, 도면 서비스 및 크기 추천을 지원하며, 다양한 장비 요구에 맞게 맞춤화할 수 있습니다.
제품 사양
- 재료 옵션: Vespel® / PI (요청 시 맞춤형 제공)
- 성능: 내열성 >300°C, 낮은 가스 방출, 치수 안정성, 우수한 절연성
- 크기 옵션: 6", 8", 12" (맞춤 크기 가능)
문의하기
Vespel 링 격리 또는 기타 전극 절연 솔루션을 찾고 계시다면 아래 양식을 작성하시거나 저희에게 직접 연락해 주시기 바랍니다.
인기 제품
반도체 공정을 위해 설계된 Vespel 전극 절연 링은 플라즈마 에처 시스템에서 전기장을 효과적으로 격리하고 공정 안정성을 향상시키는 데 사용됩니다. | PEEK 및 PI 플라스틱 CNC 가공 제조업체 | Shen-Yueh (SYT)
2006년부터 대만에 위치한 Shen-Yueh Technology Co., Ltd.는 금속 가공 산업에서 CNC 플라스틱 및 금속 가공 제조업체로 활동하고 있습니다. 그들의 주요 CNC 가공 공급품에는 Vespel 링 격리, CNC 플라스틱 가공, 공기 나이프 생산, PEEK 플라스틱 가공 및 제작, CNC 금속 가공, 폴리이미드(PI) 플라스틱 CNC 가공 및 밀링, 그리고 베어링이 포함되며, 이는 확장된 생산 능력, 짧은 리드 타임 및 더 나은 고객 서비스와 함께 제공됩니다.
'SHEN-YUEH'는 반도체 장비 및 가공 설계 인력과 CNC 전문 기술자 팀과 협력하여 10년 이상의 경험을 갖춘 팀입니다. 생산 과정은 ISO에 따라 수행되며 깨끗한 공장 환경에서 우수한 전문 상담과 서비스를 제공합니다! 우리는 반도체 및 패널 산업에서의 CNC 부품 가공 및 장비 개조 경험에 초점을 두고 있습니다 (2006년 이후). 10년 이상 동안, 우리는 디자인, 개발 및 조직 최적화 문제를 해결하고 부품의 수명을 증가시키며 많은 고객들에게 비용을 절감하고 제조 샘플을 신속히 제공하여 고객의 개발 시간을 단축시켰습니다.
Shen-Yueh (SYT)는 세미콘덕터 제조부문, 패널 및 종합 산업에 대한 고품질 장비 부품 제조를 제공해 왔으며, 선진 기술과 13년의 경험을 바탕으로 Shen-Yueh (SYT)는 각 고객의 요구를 충족시킵니다.