电极绝缘环 | 台湾高品质电极绝缘环制造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台湾专业制造电极绝缘环及提供电极绝缘环服务的优良厂商(成立于西元2006年)申玥科技即是由具有半导体设备及机械加工设计的人员组成，配合经验超过10年的CNC专业技师团队，以及符合ISO精神的生产流程及干净整洁的工厂环境，提供绝佳的专业咨询与服务！自2006年成立至今已经服务超过上百家客户，产业包含半导体、光电、生医、太阳能及其他传统产业。 .
电极绝缘环
Vespel Ring Confinement、Insulator Ring、 shield ring
我们提供专业制造与客制化加工的电极绝缘环(Insulator Ring / Shield Ring)，适用于Plasma Etcher、CVD、ALD 等半导体制程设备。产品可依不同腔体结构与制程需求设计，具备优异的高温绝缘、耐电浆、耐化学腐蚀特性，能有效隔离电场、稳定制程区域，并延长设备使用寿命。 欢迎填写以下表单立即联系我们，我们将尽快提供为您咨询服务。
产品应用
- 半导体设备腔体（Plasma Etcher / CVD / ALD / Dry Etch
- 晶圆边缘用绝缘环、RF 电极介面绝缘件、Plasma Shield Ring（电浆遮蔽环)
- 用于真空腔体内电场隔离、电浆局限与制程区域稳定化控制
- 适用于主流设备：LAM Research、TEL、 Applied Materials等等
产品特色
- 高性能材料：选用Vespel®、PBI 等高阶工程塑胶，具优异绝缘性、耐热性、化学稳定性与尺寸稳定性
- 制程稳定提升：有效局限电浆区域，减少边缘效应并降低Particle污染风险
- 保护设备元件：降低对腔体与电极的侵蚀与热负载，延长零件寿命
- 加工弹性高：少量可制、支援图面制作与尺寸建议，可依照不同机台设备需求进行加工
产品规格
- 材质选用：Vespel® /PI（依需求提供）
- 特性优势：耐温>300°C、低释气量、尺寸稳定、绝缘性佳
- 规格尺寸：6吋、8吋、12吋（可依设备客制）
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我们将提供合适的材料建议与技术支援，协助您找到最适配的绝缘解决方案。
