電極絕緣環 | 台灣高品質電極絕緣環製造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台灣專業製造電極絕緣環及提供電極絕緣環服務的優良廠商(成立於西元2006年)申玥科技即是由具有半導體設備及機械加工設計的人員組成，配合經驗超過10年的CNC專業技師團隊，以及符合ISO精神的生產流程及乾淨整潔的工廠環境，提供絕佳的專業諮詢與服務！自2006年成立至今已經服務超過上百家客戶，產業包含半導體、光電、生醫、太陽能及其他傳統產業。.
電極絕緣環
Vespel Ring Confinement、Insulator Ring、 shield ring
我們提供專業製造與客製化加工的電極絕緣環(Insulator Ring / Shield Ring)，適用於 Plasma Etcher、CVD、ALD 等半導體製程設備。產品可依不同腔體結構與製程需求設計，具備優異的高溫絕緣、耐電漿、耐化學腐蝕特性，能有效隔離電場、穩定製程區域，並延長設備使用壽命。 歡迎填寫以下表單立即聯繫我們，我們將盡快提供為您諮詢服務。
產品應用
- 半導體設備腔體（Plasma Etcher / CVD / ALD / Dry Etch
- 晶圓邊緣用絕緣環、RF 電極介面絕緣件、Plasma Shield Ring（電漿遮蔽環)
- 用於真空腔體內電場隔離、電漿侷限與製程區域穩定化控制
- 適用於主流設備：LAM Research、TEL、 Applied Materials等等
產品特色
- 高性能材料：選用 Vespel®、PBI 等高階工程塑膠，具優異絕緣性、耐熱性、化學穩定性與尺寸穩定性
- 製程穩定提升：有效侷限電漿區域，減少邊緣效應並降低Particle污染風險
- 保護設備元件：降低對腔體與電極的侵蝕與熱負載，延長零件壽命
- 加工彈性高：少量可製、支援圖面製作與尺寸建議，可依照不同機台設備需求進行加工
產品規格
- 材質選用：Vespel® /PI（依需求提供）
- 特性優勢：耐溫 >300°C、低釋氣量、尺寸穩定、絕緣性佳
- 規格尺寸：6吋、8吋、12吋（可依設備客製）
聯絡我們
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我們將提供合適的材料建議與技術支援，協助您找到最適配的絕緣解決方案。
