Vespelリングコンファインメント | PEEKおよびPIプラスチックCNC加工メーカー | Shen-Yueh (SYT)
私たちは、プラズマエッチャー、CVD装置、ALD装置などの半導体プロセス装置に適した電極絶縁リング（絶縁リング/シールドリング）の専門的な製造とカスタマイズ加工サービスを提供しています。
各製品は、異なるチャンバー構造やプロセス要件に合わせて調整できます。優れた高温断熱性、プラズマ耐性、化学的耐久性を備えた当社の断熱リングは、電場を効果的に隔離し、プロセスゾーンを安定させ、機器の寿命を延ばします。
以下のフォームにご記入いただき、お問い合わせください。ニーズに合わせた相談とサポートを迅速にお届けします。Shen-Yueh (SYT)は、2006年から台湾の高品質なVespelリングコンファインメント半導体プロセス用に設計されたVespel電極絶縁リングは、プラズマエッチャーシステムで使用され、電場を効果的に隔離し、プロセスの安定性を向上させます。メーカーです。
Vespelリングコンファインメント
絶縁リング、シールドリング
私たちは、プラズマエッチャー、CVD装置、ALD装置などの半導体プロセス装置に適した電極絶縁リング（絶縁リング/シールドリング）の専門的な製造とカスタマイズ加工サービスを提供しています。
各製品は、異なるチャンバー構造やプロセス要件に合わせて調整できます。優れた高温断熱性、プラズマ耐性、化学的耐久性を備えた当社の断熱リングは、電場を効果的に隔離し、プロセスゾーンを安定させ、機器の寿命を延ばします。
以下のフォームにご記入いただき、お問い合わせください。ニーズに合わせた相談とサポートを迅速にお届けします。
製品の用途
- 半導体プロセスチャンバー（プラズマエッチャー / CVD / ALD / ドライエッチ）
- ウェーハ用エッジリング絶縁体、RF電極インターフェース絶縁体、プラズマシールドリング
- 真空チャンバー内での電場絶縁、プラズマ閉じ込め、プロセスエリアの安定化に使用されます。
- 主流の機器に対応：LAMリサーチ、TEL、アプライドマテリアルズなど。
製品の特徴
- 高性能材料：Vespel®、PBI、その他の先進的なエンジニアリングプラスチックで作られており、優れた絶縁性、耐熱性、化学的安定性、寸法安定性を提供します。
- プロセスの安定性向上：プラズマ領域を効果的に制限し、エッジ効果を最小限に抑え、粒子汚染のリスクを減少させます。
- 重要なコンポーネントを保護：チャンバーや電極の侵食と熱負荷を減少させ、コンポーネントの寿命を延ばします。
- 柔軟な製造：少量生産、引き抜きサービス、サイズ推奨をサポートし、異なる機器のニーズに合わせてカスタマイズ可能です。
製品仕様
- 材料オプション：Vespel® / PI（リクエストに応じてカスタマイズ）
- 性能：耐熱性 >300°C、低アウトガス、寸法安定性、優れた絶縁性
- サイズオプション：6インチ、8インチ、12インチ（カスタムサイズも可能）
お問い合わせ
Vespelリングの制限や他の電極絶縁ソリューションをお探しの場合は、下のフォームにご記入いただくか、直接お問い合わせください。
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半導体プロセス用に設計されたVespel電極絶縁リングは、プラズマエッチャーシステムで使用され、電場を効果的に隔離し、プロセスの安定性を向上させます。 | PEEK & PIプラスチックCNC加工メーカー | Shen-Yueh (SYT)
2006年から台湾に位置するShen-Yueh Technology Co., Ltd.は、金属加工業界におけるCNCプラスチックおよび金属加工の製造業者です。 彼らの主なCNC加工供給品には、ヴェスぺルリングの拘束、CNCプラスチック加工、エアナイフ製品、PEEKプラスチック加工と製造、CNC金属加工、ポリイミド（PI）プラスチックCNC加工とフライス加工、そしてベアリングが含まれ、拡張された生産能力、短いリードタイム、より良い顧客サービスと共に提供されます。
Shen-Yuehは、10年以上の経験を持つCNC専門技術者チームと協力する半導体機器および機械設計の人員で構成されています。 生産プロセスはISOに従い、クリーンな工場環境で実施され、優れた専門的なコンサルテーションとサービスを提供します! 私たちは半導体およびパネル産業におけるCNC部品加工と設備変換の経験に注力しています（2006年から）。 10年以上にわたり、私たちはデザイン、開発、組織の最適化の問題を解決し、部品のライフサイクルを延ばし、多くの顧客のコストを削減し、顧客の開発時間を短縮するために迅速に製造サンプルを提供してきました。
Shen-Yueh (SYT)は、半導体製造部門、パネル、総合産業向けに高品質な設備部品の製造を提供しており、先進的なエンジニアリング技術と13年の経験を持っています。Shen-Yueh (SYT)は、各顧客の要求が満たされることを保証します。