VESPEL SP-1螺丝
高洁净与高温耐受
我们制作的Vespel SP-1 螺丝(Screw),采用高洁净等级的Vespel 原材制作,具备优异的高温稳定性、低粒子特性与良好尺寸精准度,适合需要高洁净、低污染的半导体固定需求。
在真空腔体、电浆环境、高温区段、光罩处理与晶圆搬运相关部位中,SP-1 能长期维持稳定性能,是前段制程最常使用的非金属螺丝材质之一。
产品优点
- 半导体蚀刻设备(TEL、AMAT、LAM)腔体固定件
- 真空与电浆制程区内结构螺丝
- 光罩夹具与晶圆搬运结构
- 高温制程夹持与固定部位
- 无尘室设备与治具组装
产品应用
- TEL 设备固定螺丝(810-421011-1)
- AMAT 腔体固定螺丝(0020-31740)
- 晶圆搬运结构、光罩夹具
- 真空腔体与电浆区固定件
产品规格
- 材质等级:Vespel SP-1
- 耐温范围:约300°C
- 牙规种类:M2~M10、UNC/UNF
- 头型:圆头一字、外六角、止付螺丝
- 客制化:依图面或样品制作
VESPEL® 螺丝(Screw)材质比较表
| 材质等级 | 产品特性 | 规格(牙规/头型) | 耐温范围 | 产品连结 |
|---|---|---|---|---|
| Vespel® SP-1 高洁净等级 |
● 杜邦Vespel® 工程塑胶(无填料),低粒子、低脱气 ● 尺寸稳定、抗化学腐蚀,适用真空/电浆制程 |
公制M2~M10 英制UNC/UNF 头型:圆头一字、外六角、止付螺丝 | 约300°C(持续使用) | 前往产品页面 |
| Vespel® SP-21 15% 石墨填充 |
● 自润滑、低摩擦、耐磨损 ● 真空与蚀刻制程中的长寿命固定件 |
公制M2~M10 英制UNC/UNF 头型:圆头一字、外六角、止付螺丝 | 约300°C(持续使用) | 前往产品页面 |
| Vespel® SCP-5000 高强度复合级 |
● 强度与刚性提升,尺寸安定性佳 ● 耐化学、耐电浆,适用高温制程区域 |
公制M2~M10 英制UNC/UNF 头型:圆头一字、外六角、止付螺丝 | 约320°C(持续使用) | 前往产品页面 |
材料选择
我们提供多种Vespel 螺丝(Screw) 材质选项,包含Vespel SP-1、SP-21、SCP-5000,可依您的制程条件协助选择最适合的材质。
如需进一步确认材料的适配度,下方可直接填写表单,我们将依据您的腔体条件与温度范围提供专业建议。


