VESPEL SP-21螺絲 | 台灣高品質VESPEL SP-21螺絲製造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台灣專業製造VESPEL SP-21螺絲及提供VESPEL SP-21螺絲服務的優良廠商(成立於西元2006年)申玥科技即是由具有半導體設備及機械加工設計的人員組成，配合經驗超過10年的CNC專業技師團隊，以及符合ISO精神的生產流程及乾淨整潔的工廠環境，提供絕佳的專業諮詢與服務！自2006年成立至今已經服務超過上百家客戶，產業包含半導體、光電、生醫、太陽能及其他傳統產業。.
VESPEL SP-21螺絲
低磨耗與含石墨
我們製作的 Vespel SP-21 螺絲(Screw)，為含石墨的耐磨耗等級材料，具有低摩擦、低磨耗與耐高溫特性，特別適合需要降低刮傷、減少粉化與存在接觸動作的半導體設備。
相較 SP-1，SP-21 更適用於滑動或反覆接觸的位置，是高磨耗條件下常見的 Vespel 材質。
產品優點
- 石墨潤滑配方，低摩擦、耐磨損
- 保持高潔淨度，適合蝕刻與搬運製程
- 耐高溫至 288–300°C，長期穩定
- 具良好耐化學性，適用於一般製程中酸鹼與化學氣體環境
- 可客製化尺寸、牙規與頭型
產品應用
- TEL、AMAT、LAM 設備蝕刻腔體固定件
- 晶圓傳送模組、Loadport 固定結構
- 真空與高溫製程固定件
- 光罩夾具、EFEM 結構零件
產品規格
- 材質等級：Vespel SP-21（15% Graphite）
- 耐溫範圍：約 300°C
- 牙規種類：M2～M10、UNC/UNF
- 頭型：圓頭一字、外六角、止付螺絲
- 客製化：依圖面或樣品製作
VESPEL® 螺絲（Screw）材質比較表
| 材質等級 | 產品特性 | 規格（牙規／頭型） | 耐溫範圍 | 產品連結 |
|---|---|---|---|---|
| Vespel® SP-1 高潔淨等級 | ● 杜邦 Vespel® 工程塑膠（無填料），低粒子、低脫氣 ● 尺寸穩定、抗化學腐蝕，適用真空／電漿製程 | 公制 M2～M10 英制 UNC／UNF 頭型：圓頭一字、外六角、止付螺絲 | 約 300°C（持續使用） | 前往產品頁面 |
| Vespel® SP-21 15% 石墨填充 | ● 自潤滑、低摩擦、耐磨損 ● 真空與蝕刻製程中的長壽命固定件 | 公制 M2～M10 英制 UNC／UNF 頭型：圓頭一字、外六角、止付螺絲 | 約 300°C（持續使用） | 前往產品頁面 |
| Vespel® SCP-5000 高強度複合級 | ● 強度與剛性提升，尺寸安定性佳 ● 耐化學、耐電漿，適用高溫製程區域 | 公制 M2～M10 英制 UNC／UNF 頭型：圓頭一字、外六角、止付螺絲 | 約 320°C（持續使用） | 前往產品頁面 |
材料選擇
我們提供多種 Vespel 螺絲（Screw） 材質選項，包含 Vespel SP-1、SP-21、SCP-5000，可依您的製程條件協助選擇最適合的材質。
如需進一步確認材料的適配度，下方可直接填寫表單，我們將依據您的腔體條件與溫度範圍提供專業建議。
