VESPEL SCP-5000螺絲
耐電漿與耐腐蝕
我們製作的 Vespel SCP-5000 螺絲(Screw),採用強化型耐電漿 Vespel 材料,在腐蚀性環境中具備低侵蝕速率、耐腐蝕與高溫穩定的特性。
特別適合接觸含氟氣體、酸性氣體、蝕刻介質與腐蝕性清洗製程,可提供比一般工程塑膠更長的使用壽命。
產品優點
- 高強度碳纖改質,剛性與承載力優異
- 高潔淨與耐電漿特性,適用真空腔體
- 長期耐溫可達約 320°C
- 抗酸鹼與化學腐蝕性氣體
- 可依製程條件客製尺寸與結構
產品應用
- 高溫電漿腔體內固定與支撐結構
- 真空製程載具與夾持系統
- 酸鹼製程或高腐蝕氣體環境固定件
- 高剛性、高負載設備組裝位置
- 半導體設備長期運作之結構緊固部位
產品規格
- 材質等級:Vespel SCP-5000
- 耐溫範圍:約 320°C
- 牙規種類:M2~M10、UNC/UNF
- 頭型:圓頭一字、外六角、止付螺絲
- 客製化:依圖面或樣品製作
VESPEL® 螺絲(Screw)材質比較表
| 材質等級 | 產品特性 | 規格(牙規/頭型) | 耐溫範圍 | 產品連結 |
|---|---|---|---|---|
| Vespel® SP-1 高潔淨等級 | ● 杜邦 Vespel® 工程塑膠(無填料),低粒子、低脫氣 ● 尺寸穩定、抗化學腐蝕,適用真空/電漿製程 | 公制 M2~M10 英制 UNC/UNF 頭型:圓頭一字、外六角、止付螺絲 | 約 300°C(持續使用) | 前往產品頁面 |
| Vespel® SP-21 15% 石墨填充 | ● 自潤滑、低摩擦、耐磨損 ● 真空與蝕刻製程中的長壽命固定件 | 公制 M2~M10 英制 UNC/UNF 頭型:圓頭一字、外六角、止付螺絲 | 約 300°C(持續使用) | 前往產品頁面 |
| Vespel® SCP-5000 高強度複合級 | ● 強度與剛性提升,尺寸安定性佳 ● 耐化學、耐電漿,適用高溫製程區域 | 公制 M2~M10 英制 UNC/UNF 頭型:圓頭一字、外六角、止付螺絲 | 約 320°C(持續使用) | 前往產品頁面 |
材料選擇
我們提供多種 Vespel 螺絲(Screw) 材質選項,包含 Vespel SP-1、SP-21、SCP-5000,可依您的製程條件協助選擇最適合的材質。
如需進一步確認材料的適配度,下方可直接填寫表單,我們將依據您的腔體條件與溫度範圍提供專業建議。

