VESPEL SP-1螺絲 | 台灣高品質VESPEL SP-1螺絲製造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台灣專業製造VESPEL SP-1螺絲及提供VESPEL SP-1螺絲服務的優良廠商(成立於西元2006年)申玥科技即是由具有半導體設備及機械加工設計的人員組成，配合經驗超過10年的CNC專業技師團隊，以及符合ISO精神的生產流程及乾淨整潔的工廠環境，提供絕佳的專業諮詢與服務！自2006年成立至今已經服務超過上百家客戶，產業包含半導體、光電、生醫、太陽能及其他傳統產業。.
VESPEL SP-1螺絲
高潔淨與高溫耐受
我們製作的 Vespel SP-1 螺絲(Screw)，採用高潔淨等級的 Vespel 原材製作，具備優異的高溫穩定性、低粒子特性與良好尺寸精準度，適合需要高潔淨、低污染的半導體固定需求。
在真空腔體、電漿環境、高溫區段、光罩處理與晶圓搬運相關部位中，SP-1 能長期維持穩定性能，是前段製程最常使用的非金屬螺絲材質之一。
產品優點
- 半導體蝕刻設備（TEL、AMAT、LAM）腔體固定件
- 真空與電漿製程區內結構螺絲
- 光罩夾具與晶圓搬運結構
- 高溫製程夾持與固定部位
- 無塵室設備與治具組裝
產品應用
- TEL 設備固定螺絲（810-421011-1）
- AMAT 腔體固定螺絲（0020-31740）
- 晶圓搬運結構、光罩夾具
- 真空腔體與電漿區固定件
產品規格
- 材質等級：Vespel SP-1
- 耐溫範圍：約 300°C
- 牙規種類：M2～M10、UNC/UNF
- 頭型：圓頭一字、外六角、止付螺絲
- 客製化：依圖面或樣品製作
VESPEL® 螺絲（Screw）材質比較表
| 材質等級 | 產品特性 | 規格（牙規／頭型） | 耐溫範圍 | 產品連結 |
|---|---|---|---|---|
| Vespel® SP-1 高潔淨等級 | ● 杜邦 Vespel® 工程塑膠（無填料），低粒子、低脫氣 ● 尺寸穩定、抗化學腐蝕，適用真空／電漿製程 | 公制 M2～M10 英制 UNC／UNF 頭型：圓頭一字、外六角、止付螺絲 | 約 300°C（持續使用） | 前往產品頁面 |
| Vespel® SP-21 15% 石墨填充 | ● 自潤滑、低摩擦、耐磨損 ● 真空與蝕刻製程中的長壽命固定件 | 公制 M2～M10 英制 UNC／UNF 頭型：圓頭一字、外六角、止付螺絲 | 約 300°C（持續使用） | 前往產品頁面 |
| Vespel® SCP-5000 高強度複合級 | ● 強度與剛性提升，尺寸安定性佳 ● 耐化學、耐電漿，適用高溫製程區域 | 公制 M2～M10 英制 UNC／UNF 頭型：圓頭一字、外六角、止付螺絲 | 約 320°C（持續使用） | 前往產品頁面 |
材料選擇
我們提供多種 Vespel 螺絲（Screw） 材質選項，包含 Vespel SP-1、SP-21、SCP-5000，可依您的製程條件協助選擇最適合的材質。
如需進一步確認材料的適配度，下方可直接填寫表單，我們將依據您的腔體條件與溫度範圍提供專業建議。
