VESPEL SP-21螺丝
低磨耗与含石墨
我们制作的Vespel SP-21 螺丝(Screw),为含石墨的耐磨耗等级材料,具有低摩擦、低磨耗与耐高温特性,特别适合需要降低刮伤、减少粉化与存在接触动作的半导体设备。
相较SP-1,SP-21 更适用于滑动或反覆接触的位置,是高磨耗条件下常见的Vespel 材质。
产品优点
- 石墨润滑配方,低摩擦、耐磨损
- 保持高洁净度,适合蚀刻与搬运制程
- 耐高温至288–300°C,长期稳定
- 具良好耐化学性,适用于一般制程中酸碱与化学气体环境
- 可客制化尺寸、牙规与头型
产品应用
- TEL、AMAT、LAM 设备蚀刻腔体固定件
- 晶圆传送模组、Loadport 固定结构
- 真空与高温制程固定件
- 光罩夹具、EFEM 结构零件
产品规格
- 材质等级:Vespel SP-21(15% Graphite)
- 耐温范围:约300°C
- 牙规种类:M2~M10、UNC/UNF
- 头型:圆头一字、外六角、止付螺丝
- 客制化:依图面或样品制作
VESPEL® 螺丝(Screw)材质比较表
| 材质等级 | 产品特性 | 规格(牙规/头型) | 耐温范围 | 产品连结 |
|---|---|---|---|---|
| Vespel® SP-1 高洁净等级 |
● 杜邦Vespel® 工程塑胶(无填料),低粒子、低脱气 ● 尺寸稳定、抗化学腐蚀,适用真空/电浆制程 |
公制M2~M10 英制UNC/UNF 头型:圆头一字、外六角、止付螺丝 |
约300°C(持续使用) | 前往产品页面 |
| Vespel® SP-21 15% 石墨填充 |
● 自润滑、低摩擦、耐磨损 ● 真空与蚀刻制程中的长寿命固定件 |
公制M2~M10 英制UNC/UNF 头型:圆头一字、外六角、止付螺丝 |
约300°C(持续使用) | 前往产品页面 |
| Vespel® SCP-5000 高强度复合级 |
● 强度与刚性提升,尺寸安定性佳 ● 耐化学、耐电浆,适用高温制程区域 |
公制M2~M10 英制UNC/UNF 头型:圆头一字、外六角、止付螺丝 |
约320°C(持续使用) | 前往产品页面 |
材料选择
我们提供多种Vespel 螺丝(Screw) 材质选项,包含Vespel SP-1、SP-21、SCP-5000,可依您的制程条件协助选择最适合的材质。
如需进一步确认材料的适配度,下方可直接填写表单,我们将依据您的腔体条件与温度范围提供专业建议。

