ASML Shutter
R0086E002-5
半导体黄光制程中,最重要的就是光罩透过光源将所需电路曝光于晶圆上,Shutter即是负责控制光源的遮蔽与打开,在制程中需要快速的开关,所以Shutter必须重量轻且表面平整,避免漏光造成曝光异常。申玥的Shutter即是以耐高温铝材制造,并将受光面抛光处理,避免光聚热造成热变形,增加制程稳定性及Shutter的使用寿命。
细节半导体黄光制程中,最重要的就是光罩透过光源将所需电路曝光于晶圆上,Shutter即是负责控制光源的遮蔽与打开,在制程中需要快速的开关,所以Shutter必须重量轻且表面平整,避免漏光造成曝光异常。申玥的Shutter即是以耐高温铝材制造,并将受光面抛光处理,避免光聚热造成热变形,增加制程稳定性及Shutter的使用寿命。
细节申玥科技股份有限公司是台湾专业金属加工及塑胶加工产业服务供应商.申玥科技自西元2006年起开始提供专业的PI工程塑胶加工, Wafer Cassette, 弹性滚轮, 光罩夹, 金属晶舟盒, 寻边器, 半导体设备耗材,半导体设备专用厚薄规, Wafer Jig...等服务. 拥有超过18年的专业经验,申玥科技提供客户稳定的产品品质与服务。