VESPEL SP-21螺丝
我们制作的Vespel SP-21 螺丝(Screw),为含石墨的耐磨耗等级材料,具有低摩擦、低磨耗与耐高温特性,特别适合需要降低刮伤、减少粉化与存在接触动作的半导体设备。 相较SP-1,SP-21...
细节VESPEL SCP-5000螺丝
我们制作的Vespel SCP-5000 螺丝(Screw),采用强化型耐电浆Vespel 材料,在腐蚀性环境中具备低侵蚀速率、耐腐蚀与高温稳定的特性。 特别适合接触含氟气体、酸性气体、蚀刻介质与腐蚀性清洗制程,可提供比一般工程塑胶更长的使用寿命。
细节Focus Ring Location Pin
我们制造的Vespel Focus Ring Location Pin采用杜邦Vespel® SP-1 高洁净工程塑胶制作,专为高温、真空与需要精准定位的腔体环境而设计。材料具备优异的热稳定性、耐化学性与低粒子特性,可协助Focus...
细节PEEK OTF Calibration Spindle
PEEK OTF Calibration Spindle(0270-0349)为AMAT设备上常用的校正零件,采用高洁净工程塑胶PEEK...
细节ESC Water Manifold(Ultem)
ESC Water Manifold(0040-48770)为AMAT 300mm HDP-CVD 系统中使用的Ultem(PEI)高洁净工程塑胶零件,以CNC...
细节ASML Shutter
R0086E002-5
半导体黄光制程中,最重要的就是光罩透过光源将所需电路曝光于晶圆上,Shutter即是负责控制光源的遮蔽与打开,在制程中需要快速的开关,所以Shutter必须重量轻且表面平整,避免漏光造成曝光异常。申玥的Shutter即是以耐高温铝材制造,并将受光面抛光处理,避免光聚热造成热变形,增加制程稳定性及Shutter的使用寿命。
细节PEEK GO/NO-GO塑胶检具
我们制造的PEEK GO / NO-GO 检具采用高洁净工程塑胶PEEK 精密加工而成,适用于间隙允收判定、治具装配确认与设备保养量测。 相较于金属检具,PEEK...
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