耐高溫製程用晶圓導引片
我們製造的 Vespel Wafer Guide(晶圓導引片) 採用杜邦 Vespel® 材質,專為高溫、電漿與真空製程下的導引零件需求設計。具備極佳熱穩定性、抗化學性與低摩擦特性,可降低 particle 產生與結構磨耗,特別適用於長時間運作的半導體設備內部搬送系統。支援精密加工,適合維修替換與升級需求。
如果您有任何需求,也歡迎填寫以下表單,我們將立刻為您服務。
產品特色
- 耐高溫達 300°C,適用 Plasma Etcher / ALD / CVD 等設備
- 摩擦係數低,減少 particle 生成與設備汙染風險
- 導引穩定性高,適合連續動作與長期使用
- 抗電漿腐蝕、耐化學性強
- 支援複雜設計與精密加工,對應多種機台條件
產品應用
- 適用於高溫製程設備內部,如 Plasma Etcher、CVD、ALD
- 用於晶圓搬送或對位結構的導引與固定
- 安裝於真空腔體中,協助限制移動與穩定結構
- 支援維修更換與高潔淨製程備品需求
產品規格
本產品可依安裝空間與設備條件進行全客製化加工,包括尺寸、開槽、倒角、固定孔位與特殊結構設計。
支援少量製作與多規格合併出貨,靈活因應開發試產、備品管理與改機升級需求。
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若您正尋找適用於高溫、腐蝕製程環境的 Vespel Wafer Guide(晶圓導引片) 作為高穩定性導引零件替換方案,歡迎填寫下方表單。
我們將提供圖面建議、材質選型與快速報價,協助您順利完成維修、升級與導入作業。