耐高溫製程用晶圓導引片 | 台灣高品質耐高溫製程用晶圓導引片製造商 | 申玥科技股份有限公司

申玥科技是台灣專業製造耐高溫製程用晶圓導引片及提供耐高溫製程用晶圓導引片服務的優良廠商(成立於西元2006年)申玥科技即是由具有半導體設備及機械加工設計的人員組成,配合經驗超過10年的CNC專業技師團隊,以及符合ISO精神的生產流程及乾淨整潔的工廠環境,提供絕佳的專業諮詢與服務!自2006年成立至今已經服務超過上百家客戶,產業包含半導體、光電、生醫、太陽能及其他傳統產業。.

耐高溫製程用晶圓導引片

Vespel Wafer Guide(晶圓導引片),專為高溫、電漿與真空製程下的導引零件需求設計。 / 申玥科技專注於半導體、面板產業CNC零件加工及設備改造經驗 (2006年至今)。

耐高溫製程用晶圓導引片 - Vespel Wafer Guide(晶圓導引片),專為高溫、電漿與真空製程下的導引零件需求設計。
  • 耐高溫製程用晶圓導引片 - Vespel Wafer Guide(晶圓導引片),專為高溫、電漿與真空製程下的導引零件需求設計。
  • Vespel Wafer Guide(晶圓導引片),具備極佳熱穩定性、抗化學性與低摩擦特性。
  • Vespel Wafer Guide(晶圓導引片)特別適用於長時間運作的半導體設備內部搬送系統。
耐高溫製程用晶圓導引片

我們製造的 Vespel Wafer Guide(晶圓導引片) 採用杜邦 Vespel® 材質,專為高溫、電漿與真空製程下的導引零件需求設計。具備極佳熱穩定性、抗化學性與低摩擦特性,可降低 particle 產生與結構磨耗,特別適用於長時間運作的半導體設備內部搬送系統。支援精密加工,適合維修替換與升級需求。

如果您有任何需求,也歡迎填寫以下表單,我們將立刻為您服務。

產品特色
  • 耐高溫達 300°C,適用 Plasma Etcher / ALD / CVD 等設備
  • 摩擦係數低,減少 particle 生成與設備汙染風險
  • 導引穩定性高,適合連續動作與長期使用
  • 抗電漿腐蝕、耐化學性強
  • 支援複雜設計與精密加工,對應多種機台條件
產品應用
  • 適用於高溫製程設備內部,如 Plasma Etcher、CVD、ALD
  • 用於晶圓搬送或對位結構的導引與固定
  • 安裝於真空腔體中,協助限制移動與穩定結構
  • 支援維修更換與高潔淨製程備品需求
產品規格

本產品可依安裝空間與設備條件進行全客製化加工,包括尺寸、開槽、倒角、固定孔位與特殊結構設計。
支援少量製作與多規格合併出貨,靈活因應開發試產、備品管理與改機升級需求。


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若您正尋找適用於高溫、腐蝕製程環境的 Vespel Wafer Guide(晶圓導引片) 作為高穩定性導引零件替換方案,歡迎填寫下方表單。
我們將提供圖面建議、材質選型與快速報價,協助您順利完成維修、升級與導入作業。


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申玥科技 耐高溫製程用晶圓導引片簡述

申玥科技股份有限公司是台灣一家擁有超過18年經驗的專業耐高溫製程用晶圓導引片服務供應商. 我們成立於西元2006年, 在金屬加工及塑膠加工產業領域上, 申玥科技提供專業高品質的耐高溫製程用晶圓導引片製造服務, 申玥科技提供客戶穩定的產品品質與服務。