ASML Shutter
R0086E002-5
半導體黃光製程中,最重要的就是光罩透過光源將所需電路曝光於晶圓上,Shutter即是負責控制光源的遮蔽與打開,在製程中需要快速的開關,所以Shutter必須重量輕且表面平整,避免漏光造成曝光異常。申玥的Shutter即是以耐高溫鋁材製造,並將受光面拋光處理,避免光聚熱造成熱變形,增加製程穩定性及Shutter的使用壽命。
細節Wafer End Effector
申玥製造的Wafer End Effector,是用於半導體製造過程中處理晶圓的手臂,能夠準確處理晶圓的插取、轉移、翻轉、放置和堆疊等關鍵操作。我們可以使用耐磨、耐腐蝕和高溫材料製成,確保在極端製程環境下長時間運作而不失效。 我們除了可以少量製作之外,也可以依照客戶需求,提供適合客戶環境的客製化尺寸解決方案,也歡迎填寫以下表單與我們聯繫。
細節塑膠金屬磁盤 / 磁性環
藉由磁力懸浮支撐主軸或活塞,除減少磨耗、粉塵、振動、及噪音等情形,並減少酸氣外漏,造成其他物品被腐蝕,磁力懸浮達成低轉速與長時間的運轉需求。 建議常溫使用PVC材質,高溫環境使用SUS材質。
細節TFT-LCD彈性滾輪
彈性滾輪為申玥科技公司專利產品(專利證號:M415896 / M595110),基於TFT-LCD玻璃基板的厚度規格多樣,工程師於製程中更換不同厚度的玻璃基板,需花費許多時間調整上下傳送滾輪之間隙,申玥將上壓滾輪改為彈性滾輪上機後,不需調整上下滾輪間隙(holder...
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