半导体设备零件制造。

半导体产业

申玥提供半导体制造部、黄光工程部、蚀刻工程部、扩散工程部、薄膜工程部等生产单位设备零件制造。

申玥提供除了原厂之外的另一个选择，举凡设备零件的制造、改造，并且我们的专业人员可到厂区与客户讨论设备零件的改造及制程的改善，提供不同的建议，降低客户测试的时间与成本，成为客户的最佳伙伴。
 
半导体产业设备有许多工程塑胶及金属类耗材，如蚀刻、黄光、薄膜、扩散设备常用：PI、PEEK、TORLON、PTFE(铁氟龙)、PCTFE、PFA、PPS、PEI、PETP、PC、PP等塑胶材质，以及铝合金、钛合金、钨、钼、不锈钢皆可制作。
 
半导体设备因制程条件不同，会有许多特殊材质的零件，申玥科技能够提供材质的判定、样品的逆向工程，从少量的打样测试到后续的量产服务。

塑胶手持式晶圆夹

手持式塑胶PEEK晶圆夹使用于手持检查晶圆(wafer)的工具，特点是​​可以在非真空的环境下夹持晶圆(wafer)...

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Wafer Clamp Ring

申玥制造的晶圆固定环(Vespel Clamp Ring)使用在干蚀刻的Applied(AMAT)机台中，晶圆固定环提供安全的晶圆固定力，确保您的晶圆(wafer)可以稳定的在固定的位置上，保证制程的稳定性。   并且我们使用DuPont...

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下电极保护盖

我们专业生产的下电极保护盖，适用于TEL、LAM Research、Applied Materials 等品牌的蚀刻机台。此产品专为PM（预防性维护）保养设计，能有效保护下电极免受损伤，同时防止外部因素干扰，确保电极区域的完整性。透过降低操作失误导致的风险，此保护盖可帮助客户更高效地维护设备，显著减少停机时间。   此外，我们提供针对不同环境、尺寸及材质的客制化服务，并接受少量订制需求。若需了解更多资讯或进一步咨询，欢迎填写以下表单与我们联系。

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电极绝缘环

我们提供专业制造与客制化加工的电极绝缘环(Insulator Ring / Shield Ring)，适用于Plasma...

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晶圆卡盘

我们制造的晶圆卡盘适用于Tokyo Seimitsu (Accretech) Prober UF200 机台，专为加热晶圆探针设备（手动、半自动或全自动）设计。该产品适合于-30°C...

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晶圆承载盘

我们制造的(Wafer)晶圆承载盘，可以根据客户晶圆尺寸（如4吋、6吋、8吋及12吋）和应用环境（例如耐酸碱、高温、抗静电或无尘室专用）进行客制化设计与生产。 每款承载盘均经过高精度加工和严格的品质检测，以确保晶圆在搬运与加工过程中的稳定性，并降低污染或损坏的风险。...

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高洁净搬送用晶圆导引片

我们制造的PEEK Wafer Guide（晶圆导引片） 专为半导体设备设计，安装于晶圆搬送与定位系统中，担任导引、固定、限制等功能性零件。产品采用高性能PEEK...

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耐高温制程用晶圆导引片

我们制造的Vespel Wafer Guide（晶圆导引片） 采用杜邦Vespel® 材质，专为高温、电浆与真空制程下的导引零件需求设计。具备极佳热稳定性、抗化学性与低摩擦特性，可降低particle...

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晶圆对位圆盘

我们制造的Wafer 对位圆盘用于半导体制程，确保晶圆在设备内的正确定位，提升传输与加工的稳定性，降低误差，提高生产效率。我们采用PVC材质制作，具备良好的透光性，适用于光学对位系统，确保设备能精准识别晶圆位置，适用于曝光、蚀刻等制程需求。 针对不同设备需求，我们可提供客制化设计，调整尺寸、公差，以优化对位精度与耐用性。 如需进一步了解产品特性或客制化方案，欢迎填写以下表单与我们联系，我们将尽快为您服务。

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Flat晶圆对位盘

我们专业制造Align Flat Wafer 晶圆对位盘，适用于半导体制程、光学设备、精密电子等领域，专为晶圆对位与放置设计，确保制程稳定与精度。本产品完全客制化，可依据客户的Flat...

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