半导体设备零件制造。 半导体产业
申玥提供半导体制造部、黄光工程部、蚀刻工程部、扩散工程部、薄膜工程部等生产单位设备零件制造。
申玥提供除了原厂之外的另一个选择,举凡设备零件的制造、改造,并且我们的专业人员可到厂区与客户讨论设备零件的改造及制程的改善,提供不同的建议,降低客户测试的时间与成本,成为客户的最佳伙伴。
半导体产业设备有许多工程塑胶及金属类耗材,如蚀刻、黄光、薄膜、扩散设备常用:PI、PEEK、TORLON、PTFE(铁氟龙)、PCTFE、PFA、PPS、PEI、PETP、PC、PP等塑胶材质,以及铝合金、钛合金、钨、钼、不锈钢皆可制作。
半导体设备因制程条件不同,会有许多特殊材质的零件,申玥科技能够提供材质的判定、样品的逆向工程,从少量的打样测试到后续的量产服务。
我们专业制造Align Flat Wafer 晶圆对位盘,适用于半导体制程、光学设备、精密电子等领域,专为晶圆对位与放置设计,确保制程稳定与精度。本产品完全客制化,可依据客户的Flat...
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我们制造的PETP晶圆运输盖(FXTR) 采用高性能工程级PETP材料与先进CNC加工技术,专为半导体产线设计。精准固定与高效搬运晶圆是确保制程稳定并降低生产成本的关键,该产品能确保晶圆牢固固定,缩短定位时间,并大幅提升自动化产线的生产效能。目前已获得国际半导体大厂的深受青睐。
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我们的破真空治具(组合型)专为半导体制程设计,适用于晶圆与光罩的真空释放作业。当元件透过真空吸附固定时,此治具可稳定协助破真空,确保元件顺利分离。
前端刀片采用可更换设计,可根据使用需求调整,延长治具寿命并降低维护成本。产品采用高耐磨工程塑胶与精密加工技术,减少使用过程中的摩擦与刮伤风险。
此外,我们提供各类型破真空治具的设计与咨询,并支持少量订制,欢迎填写以下表单与我们联系!
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我们的PEEK 一体成形的破真空治具专为真空解除与工件卸离设计,适用于半导体制程、光学镀膜等需要高洁净与高稳定性的应用,能够在真空环境下物理卸离平滑表面的晶圆或精密工件,确保稳定脱离载台或夹具,避免因过大吸附力导致工件损伤或破片。
本产品采用高耐热(可达240°C)、耐化学腐蚀的PEEK...
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申玥制造的离子植入机配重块,主要目的是为了解决离子植入机在高速运转之中的动平衡问题,进而提升产品的品质和效能,我们制做的配重块重量,误差值可以达到±0.2g。
并且我们使用了高品质的不锈钢材料,除了一般的现成规格之外,我们还可以进行离子植入机配重块(Viision...
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我们的PEEK气道旋转轴应用于EBARA机台中,不同于传统的焊接方式,我们优点是运用深孔PEEK加工技术,使多气道气体能够从同一旋转轴的不同气孔输出,显著提升旋转轴的整体强度和耐用性,并且增加产品使用寿命。
此外,我们可以针对不同的定位孔和气孔进行精密设计,以满足客户的特定需求。
如需更多资讯或订制服务,请填写以下表单与我们联系,我们将尽快为您服务。
细节 R0086E002-5
半导体黄光制程中,最重要的就是光罩透过光源将所需电路曝光于晶圆上,Shutter即是负责控制光源的遮蔽与打开,在制程中需要快速的开关,所以Shutter必须重量轻且表面平整,避免漏光造成曝光异常。申玥的Shutter即是以耐高温铝材制造,并将受光面抛光处理,避免光聚热造成热变形,增加制程稳定性及Shutter的使用寿命。
细节R0432Z001-1, R0414Z001-1
半导体制程中,晶圆需要在高真空环境下进行制程,在传送过程中需确保晶圆传送状况,就需要透过透明的视窗观察传送状况,因为传送过程需要不断的在大气压及高真空下转换,视窗需要能够承受此压力变化,而申玥制造的PC...
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