半導體設備零件製造。

半導體產業

申玥提供半導體製造部、黃光工程部、蝕刻工程部、擴散工程部、薄膜工程部等生產單位設備零件製造。

申玥提供除了原廠之外的另一個選擇，舉凡設備零件的製造、改造，並且我們的專業人員可到廠區與客戶討論設備零件的改造及製程的改善，提供不同的建議，降低客戶測試的時間與成本，成為客戶的最佳夥伴。

半導體產業設備有許多工程塑膠及金屬類耗材，如蝕刻、黃光、薄膜、擴散設備常用：PI、PEEK、TORLON、PTFE(鐵氟龍)、PCTFE、PFA、PPS、PEI、PETP、PC、PP等塑膠材質，以及鋁合金、鈦合金、鎢、鉬、不鏽鋼皆可製作。

半導體設備因製程條件不同，會有許多特殊材質的零件，申玥科技能夠提供材質的判定、樣品的逆向工程，從少量的打樣測試到後續的量產服務。

塑膠手持式晶圓夾

手持式塑膠PEEK晶圓夾使用於手持檢查晶圓(wafer)的工具，特點是可以在非真空的環境下夾持晶圓(wafer)...

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Wafer Clamp Ring

申玥製造的晶圓固定環(Vespel Clamp Ring)使用在乾蝕刻的Applied(AMAT)機台中，晶圓固定環提供安全的晶圓固定力，確保您的晶圓(wafer)可以穩定的在固定的位置上，保證製程的穩定性。並且我們使用DuPont...

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下電極保護蓋

我們專業生產的下電極保護蓋，適用於 TEL、LAM Research、Applied Materials...

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電極絕緣環

我們提供專業製造與客製化加工的電極絕緣環(Insulator Ring / Shield Ring)，適用於...

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晶圓卡盤

我們製造的晶圓卡盤適用於 Tokyo Seimitsu (Accretech) Prober UF200 機台，專為加熱晶圓探針設備（手動、半自動或全自動）設計。該產品適合於...

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晶圓承載盤

我們製造的 (Wafer)晶圓承載盤，可以根據客戶晶圓尺寸（如4吋、6吋、8吋及12吋）和應用環境（例如耐酸鹼、高溫、抗靜電或無塵室專用）進行客製化設計與生產。 每款承載盤均經過高精度加工和嚴格的品質檢測，以確保晶圓在搬運與加工過程中的穩定性，並降低污染或損壞的風險。...

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高潔淨搬送用晶圓導引片

我們製造的 PEEK Wafer Guide（晶圓導引片） 專為半導體設備設計，安裝於晶圓搬送與定位系統中，擔任導引、固定、限制等功能性零件。產品採用高性能...

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耐高溫製程用晶圓導引片

我們製造的 Vespel Wafer Guide（晶圓導引片） 採用杜邦 Vespel® 材質，專為高溫、電漿與真空製程下的導引零件需求設計。具備極佳熱穩定性、抗化學性與低摩擦特性，可降低...

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晶圓對位圓盤

我們製造的Wafer 對位圓盤用於半導體製程，確保晶圓在設備內的正確定位，提升傳輸與加工的穩定性，降低誤差，提高生產效率。我們採用...

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Flat晶圓對位盤

我們專業製造 Align Flat Wafer 晶圓對位盤，適用於 半導體製程、光學設備、精密電子...

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