半導體設備零件製造。

半導體產業

申玥提供半導體製造部、黃光工程部、蝕刻工程部、擴散工程部、薄膜工程部等生產單位設備零件製造。

申玥提供除了原廠之外的另一個選擇，舉凡設備零件的製造、改造，並且我們的專業人員可到廠區與客戶討論設備零件的改造及製程的改善，提供不同的建議，降低客戶測試的時間與成本，成為客戶的最佳夥伴。

半導體產業設備有許多工程塑膠及金屬類耗材，如蝕刻、黃光、薄膜、擴散設備常用：PI、PEEK、TORLON、PTFE(鐵氟龍)、PCTFE、PFA、PPS、PEI、PETP、PC、PP等塑膠材質，以及鋁合金、鈦合金、鎢、鉬、不鏽鋼皆可製作。

半導體設備因製程條件不同，會有許多特殊材質的零件，申玥科技能夠提供材質的判定、樣品的逆向工程，從少量的打樣測試到後續的量產服務。

PEEK氣道旋轉軸

我們的PEEK氣道旋轉軸應用於EBARA機台中，不同於傳統的焊接方式，我們優點是運用深孔PEEK加工技術，使多氣道氣體能夠從同一旋轉軸的不同氣孔輸出，顯著提升旋轉軸的整體強度和耐用性，並且增加產品使用壽命。 此外，我們可以針對不同的定位孔和氣孔進行精密設計，以滿足客戶的特定需求。 如需更多資訊或訂製服務，請填寫以下表單與我們聯繫，我們將盡快為您服務。

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Retaining Clip

713-048216-001 為使用 氟系高潔淨工程塑膠 製作的 Retaining Clip，常見於LAM...

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Bonding Pads

0021-46440(Left) 與 0021-46439(Right) 為使用高潔淨工程塑膠加工製作的 Bonding...

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Focus Ring Location Pin

我們製造的 Vespel Focus Ring Location Pin採用杜邦 Vespel® SP-1 高潔淨工程塑膠製作，專為高溫、真空與需要精準定位的腔體環境而設計。材料具備優異的熱穩定性、耐化學性與低粒子特性，可協助Focus...

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PEEK OTF Calibration Spindle

PEEK OTF Calibration Spindle(0270-0349)為 AMAT設備上常用的校正零件，採用高潔淨工程塑膠...

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ESC Water Manifold(Ultem)

ESC Water Manifold(0040-48770)為 AMAT 300mm HDP-CVD 系統中使用的 Ultem(PEI)高潔淨工程塑膠零件，以...

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ASML Shutter

R0086E002-5

半導體黃光製程中，最重要的就是光罩透過光源將所需電路曝光於晶圓上，Shutter即是負責控制光源的遮蔽與打開，在製程中需要快速的開關，所以Shutter必須重量輕且表面平整，避免漏光造成曝光異常。申玥的Shutter即是以耐高溫鋁材製造，並將受光面拋光處理，避免光聚熱造成熱變形，增加製程穩定性及Shutter的使用壽命。

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真空腔體視窗

R0432Z001-1, R0414Z001-1

半導體製程中，晶圓需要在高真空環境下進行製程，在傳送過程中需確保晶圓傳送狀況，就需要透過透明的視窗觀察傳送狀況，因為傳送過程需要不斷的在大氣壓及高真空下轉換，視窗需要能夠承受此壓力變化，而申玥製造的PC...

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