ASML Shutter
R0086E002-5
半導體黃光製程中,最重要的就是光罩透過光源將所需電路曝光於晶圓上,Shutter即是負責控制光源的遮蔽與打開,在製程中需要快速的開關,所以Shutter必須重量輕且表面平整,避免漏光造成曝光異常。申玥的Shutter即是以耐高溫鋁材製造,並將受光面拋光處理,避免光聚熱造成熱變形,增加製程穩定性及Shutter的使用壽命。
細節半導體黃光製程中,最重要的就是光罩透過光源將所需電路曝光於晶圓上,Shutter即是負責控制光源的遮蔽與打開,在製程中需要快速的開關,所以Shutter必須重量輕且表面平整,避免漏光造成曝光異常。申玥的Shutter即是以耐高溫鋁材製造,並將受光面拋光處理,避免光聚熱造成熱變形,增加製程穩定性及Shutter的使用壽命。
細節申玥科技股份有限公司是台灣專業金屬加工及塑膠加工產業服務供應商. 申玥科技自西元2006年起開始提供專業的PI工程塑膠加工, Wafer Cassette, 彈性滾輪, 光罩夾, 金屬晶舟盒, 尋邊器, 半導體設備耗材,半導體設備專用厚薄規, Wafer Jig...等服務. 擁有超過18年的專業經驗, 申玥科技提供客戶穩定的產品品質與服務。