VESPEL SP-21螺絲
我們製作的 Vespel SP-21 螺絲(Screw),為含石墨的耐磨耗等級材料,具有低摩擦、低磨耗與耐高溫特性,特別適合需要降低刮傷、減少粉化與存在接觸動作的半導體設備。 相較...
細節VESPEL SCP-5000螺絲
我們製作的 Vespel SCP-5000 螺絲(Screw),採用強化型耐電漿 Vespel 材料,在腐蚀性環境中具備低侵蝕速率、耐腐蝕與高溫穩定的特性。 特別適合接觸含氟氣體、酸性氣體、蝕刻介質與腐蝕性清洗製程,可提供比一般工程塑膠更長的使用壽命。
細節Focus Ring Location Pin
我們製造的 Vespel Focus Ring Location Pin採用杜邦 Vespel® SP-1 高潔淨工程塑膠製作,專為高溫、真空與需要精準定位的腔體環境而設計。材料具備優異的熱穩定性、耐化學性與低粒子特性,可協助Focus...
細節PEEK OTF Calibration Spindle
PEEK OTF Calibration Spindle(0270-0349)為 AMAT設備上常用的校正零件,採用高潔淨工程塑膠...
細節ESC Water Manifold(Ultem)
ESC Water Manifold(0040-48770)為 AMAT 300mm HDP-CVD 系統中使用的 Ultem(PEI)高潔淨工程塑膠零件,以...
細節ASML Shutter
R0086E002-5
半導體黃光製程中,最重要的就是光罩透過光源將所需電路曝光於晶圓上,Shutter即是負責控制光源的遮蔽與打開,在製程中需要快速的開關,所以Shutter必須重量輕且表面平整,避免漏光造成曝光異常。申玥的Shutter即是以耐高溫鋁材製造,並將受光面拋光處理,避免光聚熱造成熱變形,增加製程穩定性及Shutter的使用壽命。
細節PEEK GO/NO-GO塑膠檢具
我們製造的 PEEK GO / NO-GO 檢具 採用高潔淨工程塑膠 PEEK 精密加工而成,適用於間隙允收判定、治具裝配確認與設備保養量測。 相較於金屬檢具,PEEK...
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