产品特色：

• 客制化加工能力
  依照客户图面或样品逆向制作，可提供多样Vespel 等级（SP-1 / SP-21 / SP-22 / SP-211 / CR 系列），符合半导体制程精度与洁净需求。
  
  
• 高温耐受与耐腐蚀性
  适用于真空腔体、热制程与电浆制程环境，可承受长时间高温、酸碱与化学气体，确保长期稳定运作。
  
  
• 低粒子、洁净制程适用
  精选半导体等级Vespel 材料，并提供精密加工、细致倒角与洁净包装，满足无尘室与高洁净制程要求，降低污染风险。

应用范围：

• 光罩/光学治具：Photomask Pick、支撑座
• 晶圆搬运：Wafer Pin、Pad、定位件
• 真空/热制程：隔热垫片、治具Spacer
• 蚀刻/ 薄膜/ CVD / PECVD / Etch 工程零件
• CMP 制程：Retaining Ring / 支撑治具
• 半导体及面板产业高纯度耐化学应用

选择SHEN-YUEH 的Vespel 半导体应用零件，透过专业加工与客制方案，协助您提升制程可靠度、延长耗材寿命并缩短测试时间，让生产流程更精准、更高效。