PEEK OTF Calibration Spindle
PEEK OTF Calibration Spindle(0270-0349)为AMAT设备上常用的校正零件，采用高洁净工程塑胶PEEK...
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ESC Water Manifold(Ultem)
ESC Water Manifold(0040-48770)为AMAT 300mm HDP-CVD 系统中使用的Ultem(PEI)高洁净工程塑胶零件，以CNC...
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Clamp Dome 300mm
Clamp Dome 300mm（P/N: 0021-19298）为使用高洁净工程材料加工制作的半导体设备机构零件，常见于300mm晶圆制程设备的机构组件中，用于提供稳定的固定、支撑与定位效果，协助设备在运作过程中维持良好的机械稳定性与组件一致性。此类零件常见于部分AMAT系统设备相关应用，可作为设备维修与备品更换使用。材料具备良好的尺寸稳定性与耐用性，可在高洁净或制程设备环境中长时间稳定使用。
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ASML Shutter
R0086E002-5
半导体黄光制程中，最重要的就是光罩透过光源将所需电路曝光于晶圆上，Shutter即是负责控制光源的遮蔽与打开，在制程中需要快速的开关，所以Shutter必须重量轻且表面平整，避免漏光造成曝光异常。申玥的Shutter即是以耐高温铝材制造，并将受光面抛光处理，避免光聚热造成热变形，增加制程稳定性及Shutter的使用寿命。
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PEEK GO/NO-GO塑胶检具
我们制造的PEEK GO / NO-GO 检具采用高洁净工程塑胶PEEK 精密加工而成，适用于间隙允收判定、治具装配确认与设备保养量测。 相较于金属检具，PEEK...
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无尘室专用O-RING拆卸棒
专为半导体、光电及精密仪器设备维护设计的O-RING 拆卸工具。采用特殊工程塑胶材质制造，解决传统金属工具易刮伤腔体密封面或阳极处理层的问题。材质具备优异的耐化学性与低发尘特性，完全符合无尘室高洁净度作业标准，是精密设备保养（PM）不可或缺的专业工具。
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