ASML Shutter
R0086E002-5
半导体黄光制程中,最重要的就是光罩透过光源将所需电路曝光于晶圆上,Shutter即是负责控制光源的遮蔽与打开,在制程中需要快速的开关,所以Shutter必须重量轻且表面平整,避免漏光造成曝光异常。申玥的Shutter即是以耐高温铝材制造,并将受光面抛光处理,避免光聚热造成热变形,增加制程稳定性及Shutter的使用寿命。
细节PEEK GO/NO-GO塑胶检具
我们制造的PEEK GO / NO-GO 检具采用高洁净工程塑胶PEEK 精密加工而成,适用于间隙允收判定、治具装配确认与设备保养量测。 相较于金属检具,PEEK...
细节无尘室专用O-RING拆卸棒
专为半导体、光电及精密仪器设备维护设计的O-RING 拆卸工具。采用特殊工程塑胶材质制造,解决传统金属工具易刮伤腔体密封面或阳极处理层的问题。材质具备优异的耐化学性与低发尘特性,完全符合无尘室高洁净度作业标准,是精密设备保养(PM)不可或缺的专业工具。
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