ASML Shutter
R0086E002-5
半導體黃光製程中,最重要的就是光罩透過光源將所需電路曝光於晶圓上,Shutter即是負責控制光源的遮蔽與打開,在製程中需要快速的開關,所以Shutter必須重量輕且表面平整,避免漏光造成曝光異常。申玥的Shutter即是以耐高溫鋁材製造,並將受光面拋光處理,避免光聚熱造成熱變形,增加製程穩定性及Shutter的使用壽命。
細節PEEK GO/NO-GO塑膠檢具
我們製造的 PEEK GO / NO-GO 檢具 採用高潔淨工程塑膠 PEEK 精密加工而成,適用於間隙允收判定、治具裝配確認與設備保養量測。 相較於金屬檢具,PEEK...
細節無塵室專用O-RING拆卸棒
專為半導體、光電及精密儀器設備維護設計的 O-RING 拆卸工具。採用特殊工程塑膠材質製造,解決傳統金屬工具易刮傷腔體密封面或陽極處理層的問題。材質具備優異的耐化學性與低發塵特性,完全符合無塵室高潔淨度作業標準,是精密設備保養(PM)不可或缺的專業工具。
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